GB/T 1557-2018 硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測(cè)量方法

　　Test method for determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption

　　標(biāo)準(zhǔn) 推薦性 現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測(cè)量方法》由TC203(半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì))歸口上報(bào)，TC203SC2(半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分會(huì))執(zhí)行，主管部門為標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)。

GB/T 1557-2018主要起草單位

新特能源股份有限公司 、有研半導(dǎo)體材料有限公司 、亞洲硅業(yè)(青海)有限公司 、宜昌南玻硅材料有限公司 、隆基綠能科技股份有限公司 、內(nèi)蒙古盾安光伏科技有限公司 、峨嵋半導(dǎo)體材料研究所 、北京合能陽光新能源技術(shù)有限公司 。

GB/T 1557-2018主要起草人

銀波 、夏進(jìn)京 、邱艷梅 、劉國(guó)霞 、柴歡 、趙晶晶 、劉文明 、姚利忠 、王海禮 、鄧浩 、高明 、鄭連基 、陳赫 、石宇 、楊旭 、肖宗杰 。

GB/T 1557-2018相近標(biāo)準(zhǔn)(計(jì)劃)

20151786-T-469 硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測(cè)量方法
20060512-T-610 硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測(cè)量方法 硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測(cè)量方法
20062373-T-469 硅晶體中間隙氧含量徑向變化測(cè)量方法
GB/T 14144-2009 硅晶體中間隙氧含量徑向變化測(cè)量方法
SJ/T 10625-1995 鍺單晶中間隙氧含量的紅外吸收測(cè)量方法
SJ/T 11491-2015 短基線紅外吸收光譜法測(cè)量硅中間隙氧含量
SJ/T 11552-2015 以布魯斯特角入設(shè)P偏振輻射紅外吸收光譜法測(cè)量硅中間隙氧含量
SJ/T 10627-1995 通過測(cè)量間隙氧含量的減少表征硅片氧沉淀特性的方法
JB/T 9495.6-1999 光學(xué)晶體光吸收系數(shù)測(cè)量方法

關(guān)于我們

部分儀器

合作客戶